Ионно–плазменные покрытия на основе нитридов и карбидов переходных металлов с регулируемой стехиометрией

Ионно–плазменные покрытия на основе нитридов и карбидов переходных металлов с регулируемой стехиометрией

  • kutubxona_xodimlari
  • 2
  • 1
  • Resurs turi: Tabiiy-ilmiy
  • Chop etilgan yili: 2005
  • Mualliflar: Р. Х. Сайдахмедов

Ионно–плазменные покрытия на основе нитридов и карбидов переходных металлов с регулируемой стехиометрией